用毒气屠杀的经过一般是这样的：当新的犹太人被从远方运来时，党卫队医官就对这些囚犯进行专门检查。囚犯被喝令按队列前进，就在囚犯们经过医官面前时，当场决定囚犯们向哪一队站过去。适合劳动的被分到一起，送到集中营；而其余的人则立即被送到灭绝工厂。在这些囚犯中，儿童因为年幼不能劳动也被送到灭绝工厂处死。
当囚犯们随着伴奏音乐由脱衣室进到浴室时，大部分囚犯会感到不对劲，因为室内并没有淋浴喷头，却看到一间屋子里塞满了男女老幼，根本就无法洗澡。但这时身后的门往往早已被关上了。党卫队员们早已各就各位，准备一接到命令就把那些蓝色的氰化物或称“齐克隆Ｂ”的结晶药物投下去。
就在那些赤身裸体的囚犯们纳闷到底这些魔鬼要干什么的时候，刽子手们把那不慈祥的晶体投下了通气孔，一会儿囚犯们就看见毒气从通气孔里飘了出来，这时人人都争先恐后地向远离管子的地方拥去。求生的本能使那些身体较为强壮的人顾不上照应自己的亲人而只顾拼命往上爬，以使自己争得那可怜的二三分钟的生命。终于，他们在进来的大门附近堆成了一个金字塔：老人、孩子、妇女在下边，青年人在上边，人人脸上发着阴森的青色，个个身上被抓挠得血迹斑班，到处都湿漉漉的。他们互相抓着、掐着，想爬过死神的门槛求生，一直到死都不愿放弃。
二三十分钟后，这整个的一大堆人都不动了。抽气机把毒气抽掉，大门被打开，由被囚禁的男犹太人按手清理工作。纳粹党徒给这个犯人工作队起了一个颇雅致的名字“特别队”。“特别队”的人做这种人间最可怕的工作，最大的希望仅是营部答应免于一死，给以足够的食物果腹。但在集中营里囚犯是没有资格谈条件的，这些“特别队”的队员在工作一段时间后还是不免会被毒气处死，他们的工作亦会由一批新人代替。这批新人也会得到同样的许诺，但亦会同样被处死，因为党卫队不希望任何人活着出去泄露内情。
“特别队”工作时都戴上防毒面具，穿上胶皮靴，手拿水龙头。他们要做的第一件事就是洗掉血迹和便污，然后用绳套和铁钩把互相扑着、掐着的死尸分开来，接着便用电梯或轨道货车将尸体运往焚尸炉，再将骨渣运到工厂磨成灰粉，最后用卡车倒入挖好的坑中或直接撤入河中。
通常用况下，“特别队”把尸体从毒气室里拖出来，扔进在毒气室旁边挖的坑里，然后再重新布置，喷洒可怜的牺牲者随身带来的花露水，以便使新来的牺牲者对刚才发生的惨剧一无所知。虽然尸体上洒满了漂白粉和土，但没有及时焚化的尸体在几个月后弄得整个集中营都充溢着一种令人作呕的气味，在所有的水源和井里都会发现杆状病菌。
在比克瑙，共有四座焚尸场，总共有八个毒气室和四十六座焚尸炉，每座焚尸炉在几分钟内可同时焚烧三具尸体。尽管如此高的效率，但因焚烧的尸体太多，连火苗都窜出了烟囱，烟囱被烧得通红，裂开了，不得不用铁箍箍紧。
即便如此，有时尸体太多，沪子仍不够用，这时就在院子里架柴烧尸体，沾满油的尸体在木荣上熊熊燃烧，尸堆上日出阵阵浓烟。尸体在火中被烷烧成各种各样的形状，面孔被火烧得狰狞可怕，惨不忍睹。最后，烧完的火堆或埋掉或倒在河里。
在这里，值得注意的是，死亡集中营能迅速改变人的性格。即使是参加消灭波兰犹太人特别行动队的党卫队士兵，初到死亡集中营的时候，也不得不为死亡集中营种种意想不到的场面和做法而吃惊，但不出几天，这些党卫队士兵就会若无其事地对待所见到的一切。然而即使在死亡集中营极端恐怖的情况下，人们求生的欲望任何人都无从改变。
为了更有效地监视犯人，盖世太保采取种种处心积虑的方法，他们常常利用给干轻活和增加食品量的办法，收买某些犯人。而他们往往很轻易地就会收买到一批。而每当这些犯人在囚犯中间暴露时，盖世太堡就会迅速把他们送进毒气室。到了这时，那些被收买的犯人往往悔恨不迭，然而已为时过晚。
有时候，囚犯们会不时地看到有头和手在死人堆里微微颤动，这是试图从这些死人堆里爬出来求生的活人。而最终的结果是，一旦被送到了集中营就已是踏上死亡的滑梯，剩下的事就由魔鬼作主了。
但人们为渴求生命所做的努力在集中营里体现得更为悲惨，更令人心碎，而这也正衬托出法西斯刽子手在死亡集中营的所做所为是多么残酷和灭绝人性。
在奥斯威辛的比克瑙集中营，—位四十五岁的犯人因脚有伤不能劳动而被选定送毒气室处死。他的十六岁的儿子也在集中营里。这位年轻的少年幼稚地想用顶替集中营号码的办法来搭救他的父亲，但没有成功。于是这位少年鼓起勇气，跪倒在营长官面前，央求让他的父亲活下去。营长官回答说，他用不着害怕，他爸爸是去治病，很快就会回来。少年不相信，一再恳求长官准许他代替他的父亲去修筑公路。负责报表的头子狠狠地揍了他一顿，这个少年终于知道什么样的命运在等待着他的父亲，而刽子手随后却把这位少年的号码和他父亲的号码填在一起，他们都被送进了毒气室。
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